分光エリプソメトリー 第2版

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分光エリプソメトリー 第2版

 著者: 藤原裕之  ジャンル: 表面科学  出版社: 丸善出版株式会社  出版年月: 2024  ISBN: 978-4621083222  ページ数: 368
 感想:

分光エリプソメトリー 第2版, 藤原裕之(著), 丸善出版株式会社, 2011. (Amazonリンク)

サンプルの膜厚評価手法として有名なエリプソメトリー

原理は簡単そうでいて、実際に真剣に理解しようとすると難しい。
この本も例にもれず、難しい。

Matephysi評価
★★☆☆☆


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