分光エリプソメトリー第2版

著者: 藤原裕之 ジャンル: 表面科学 出版社: 丸善出版株式会社 ISBN: 978-4621083222 ページ数: 368

感想:

分光エリプソメトリー第2版, 藤原裕之(著), 丸善出版株式会社, 2011. (Amazon リンク)

サンプルの膜厚評価手法として有名なエリプソメトリー

原理は簡単そうでいて、実際に真剣に理解しようとすると難しい。
この本も例にもれず、難しい。

Matephysi評価
★★☆☆☆

2024年5月9日

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分光エリプソメトリー 第2版